乾式真空幫浦(Dry Vacuum Pump) 產品

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真空幫浦 (Vacuum Pump)也可寫為真空帮浦或是真空泵浦。漢鐘精機PS系列乾式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子 (圖一),在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果,終極壓力可達7.5 × 10-3 Torr。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用於PECVD、Etching等嚴苛製程。

螺旋轉子為乾式螺旋真空泵浦利用來互相咬合用的

圖一

真空幫浦 (Vacuum Pump)

圖二

乾式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 產品特色

1. 泵浦 (Pump) 溫度控制精準

乾式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加真空泵浦 (Vacuum Pump)的壽命。

2. 密封馬達安全性高

真空泵浦亦全面採用專利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免製程氣體外漏的風險。

3. 微電腦控制保護周全

真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護,十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。

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以下為漢鐘精機股份有限公司所提供的乾式真空幫浦 (Dry Vacuum Pump) 的型號種類:

乾式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) S/N 型

乾式真空幫浦 (Dry Vacuum Pump) S/N 型

    乾式螺旋真空泵浦 S/N型為無罩式的乾式螺旋真空泵浦機型

    乾式螺旋真空泵浦 S/N型的型號有:PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。

    乾式螺旋真空泵浦 S/N型的特色有:

    • 抽氣速度:1600 ~ 30000 L/Min

    • 終極壓力:7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr

    • 中央監控系統,預防真空泵浦不正常停機

    • 變頻及人性化操控介面

    • 適用於一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業應用

    乾式螺旋真空泵浦 S/N型之機型分類及其適用解說

      機型

      適用產業

      PS-80-N
      PS-160-N
      PS-180-N
      PS-602-N
      PS-902-N
      PS-1302-N
      PS-1802-N

      一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業應用。

      PS-80-N
      PS-160-N
      PS-180-N
      PS-602-N
      PS-902-N
      PS-1302-N
      PS-1802-N

      一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業應用。

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乾式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) A/H 型

乾式真空幫浦 (Dry Vacuum Pump) A/H 型

    乾式螺旋真空泵浦 A/H型為有罩式的乾式螺旋真空泵浦機型

    乾式螺旋真空泵浦 A/H型的型號有:PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。

    乾式螺旋真空泵浦 A/H型的特色有:

    • 抽氣速度:1600 ~ 30000 L/Min

    • 終極壓力:7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr

    • 整合式氮氣加熱系統,減少氣體沉積,延長保養週期及壽命

    • 中央監控系統,預防真空泵浦不正常停機

    • 適用於半導體、TFT-LCD、LED等光電產業、太陽能、熱處理應用

    乾式螺旋真空泵浦 A/H型之機型分類及其適用解說

      機型
      適用產業
      PS-80-A
      PS-160-A
      PS-180-A
      PS-602-A
      PS-902-A
      PS-1302-A
      PS-1802-A
      半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產業。
      PS-80-H
      PS-160-H
      PS-180-H
      PS-602-H
      PS-1302-H
      PS-1308-H
      半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產業。

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