S／N型 (無罩式) 之型號有：PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802等。
S／N型的產品特色
1.抽氣速度：1300 ~ 30000 L/Min
2.終極壓力：≦7.5×10-3 ~ ≦7.5×10-4
3.變頻及人性化操控介面
4.水冷密封馬達，安全百分百
5.整合式氮氣加熱系統，減少氣體沉積，延長保養週期及壽命
6.中央監控系統，預防真空泵浦不正常停機
7.適用於半導體、TFT-LCD、LED等光電產業、太陽能、熱處理、化工及其他工業應用
技術規格表 (Technical Data)
1. 技術規格表
機型 Model 註 2 |
單位 Unit |
PS80 |
PS160 |
PS180 |
PS602 |
PS902 |
PS1302 |
PS1802 |
抽氣速度
Pumping Speed
(50Hz/60Hz) |
l/min |
1300 / 1600 |
2150 / 2600 |
2500 / 3000 |
8300 / 10000 |
12500/ 15000 |
17500/21000 |
25000/30000 |
m 3 /hr |
80 / 96 |
130 / 156 |
150 / 180 |
500 / 600 |
750/900 |
1050/1260 |
1500/1800 |
cfm |
47 / 57 |
77 / 92 |
88 / 106 |
294 / 353 |
441 / 530 |
618 / 742 |
883 / 1060 |
終極壓力
Ultimate Pressure |
Torr |
≦ 7.5×10 -3 |
≦ 7.5×10 -4 |
mbar |
≦ 1×10 -2 |
≦ 1×10 -3 |
Pa |
≦ 1 |
≦ 0.1 |
水冷密封馬達
Canned Motor |
頻率 Frequency |
Hz |
50/60 |
電壓 Voltage |
V |
220~440 （ 3Phase ） |
額定功率
Rated Power |
hp |
4 |
6 |
4+4 |
6+4 |
6+6 |
kW |
2.98 |
4.47 |
2.98+2.98 |
4.47+2.98 |
4.47+4.47 |
連接
Connection |
進氣口 Inlet |
|
NW50 |
ISO100(bolted) |
ISO160(bolted) |
排氣口 Outlet |
|
NW40 |
NW40 |
NW40 |
冷卻水
Cooling
Water |
流量 Flow |
L/min |
3 L /min 15°C ~ 7 L /min 30°C |
溫度 Temp. |
°C |
最高壓力 Max. Pressure |
kg/cm 2 |
4 |
壓力差 Pressure Dif. |
kg/cm 2 |
1 |
接頭 Connection |
|
RC 3/8" |
氮氣
N2 |
壓力 Purge Pressure |
MPa |
0.05~0.2 註 1 |
流量 Purge Flow |
slm |
5~60 註 1 |
接頭 Connection |
|
Swagelok 1/4" |
尺寸 Dim. |
長 × 寬 × 高 L×W×H |
mm |
814 × 380 × 663 |
895 × 410 × 678 |
920 ×430×650 |
814 ×380×915 |
895 ×410×943 |
920 ×430×957 |
920 ×430×1030 |
重量 Weight |
kg |
280 |
300 |
320 |
450 |
520 |
540 |
545 |
噪音 Noise |
dB(A) |
<68 |
<70 |
<70 |
<70 |
<70 |
<70 |
<70 |
控制介面 Control |
|
SEMI E73-0299 |
系統最大漏率
System Max. Leak-rate |
mbar.l/s |
1×10 -5 |
室溫操作範圍 Operation Temp. |
℃ |
5 ℃ ~ 40 ℃ |
操作溼度 Operation Moisture |
RH |
90% 以下 |
潤滑油
Lubrication Oil |
商標 Brand |
|
Krytox VPF 1525
Fomblin Y LVAC 25/6 |
用量 Quantity |
L |
0.8 |
0.8+0.8 |
註1. 以上為一般建議範圍會依實際製程應用，壓力及流量會有所變化。
註2. 機型分類及其適用解說。
機種 |
型號代碼 |
外罩 |
控制器 |
氮氣加熱器 |
適用產業 |
簡易型
Simple Type |
S 型 (S-Type) |
PSXXX-S |
|
|
|
適用於一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、製藥、化工業應用等。 |
C 型 (C-Type) |
PS XXX -C |
◎ |
|
|
N 型 (N-Type) |
PS XXX -N |
|
◎ |
|
2. 外觀尺寸
N型
單位:mm
機型 |
A |
B |
C |
D |
E |
G |
H |
K |
L |
M |
PS80-N |
375 |
320 |
550 |
185 |
740 |
923 |
576 |
668 |
105 |
224 |
PS160-N |
405 |
350 |
565 |
213 |
837 |
1006 |
582 |
645 |
105 |
201 |
PS180-N |
425 |
350 |
537 |
223 |
883 |
1031 |
560 |
627 |
73 |
184 |
圖2.1 PS80-N、PS160-N、PS180-N外觀尺寸
單位:mm
機型 |
A |
B |
C |
D |
E |
G |
H |
K |
L |
M |
PS602-N |
375 |
320 |
550 |
185 |
652 |
923 |
773 |
668 |
105 |
224 |
PS902-N |
405 |
350 |
565 |
213 |
723 |
1006 |
807 |
645 |
105 |
201 |
PS1302-N |
425 |
350 |
537 |
223 |
740 |
1031 |
822 |
627 |
73 |
184 |
PS1802-N |
425 |
350 |
537 |
223 |
760 |
1121 |
822 |
627 |
73 |
184 |
圖2.2 PS602-N、PS902-N、PS1302-N、PS1802-N外觀尺寸
A型
單位:mm
機型 |
A |
B |
C |
D |
E |
G |
H |
K |
L |
M |
PS80-A |
380 |
663 |
552 |
190 |
740 |
814 |
576 |
668 |
105 |
224 |
PS160-A |
405 |
678 |
567 |
180 |
837 |
895 |
582 |
645 |
105 |
201 |
PS180-A |
425 |
650 |
539 |
190 |
883 |
920 |
560 |
627 |
73 |
184 |
圖2.3 PS80-A、PS160-A、PS180-A外觀尺寸
單位:mm
機型 |
A |
B |
C |
D |
E |
G |
H |
K |
L |
M |
PS602-A |
380 |
908 |
797 |
190 |
652 |
814 |
797 |
668 |
105 |
224 |
PS902-A |
405 |
943 |
832 |
180 |
813 |
895 |
832 |
645 |
105 |
201 |
PS1302-A |
425 |
957 |
845 |
190 |
734 |
920 |
846 |
627 |
73 |
184 |
PS1802-A |
425 |
1047 |
846 |
190 |
734 |
920 |
846 |
627 |
73 |
184 |
圖2.4 PS602-A、PS902-A、PS1302-A、PS1802-A外觀尺寸
3. 抽氣性能曲線圖
圖2.5 PS-80、PS-160、PS-180抽氣性能曲線圖
- 3-2. PS602、PS902、PS1302、PS1802
圖2.6 PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802抽氣性能曲線圖
S／N型之產品圖
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